StartLeistungenSchleifwasseraufbereitung
HIGHLIGHT: HALBLEITERTECHNIK / GLAS / KERAMIK

Schleifwasseraufbereitung für Halbleiter und technische Keramik

Partikelbeladenes Prozesswasser – bis zu 90 % im Kreislauf zurückgewinnen.

bis 90 % Rückgewinnung100 % PartikelrückhaltUltrafiltration

Worum es geht

Sowohl in der Halbleiterindustrie bei der Waferherstellung (Si, SiC, LiTaO₃) als auch in der Glas- und Keramikindustrie bei der Bearbeitung komplexer Werkstücke (Al₂O₃, TiO₂) entstehen beim Fräsen, Schleifen, Kanten und Polieren partikelhaltige Prozessabwässer. Diese können mittels unserer Ultrafiltrationsanlagen aufbereitet werden, sodass ein wesentlicher Anteil (Ausbeute bis zu 90 %) des eingesetzten Prozesswassers wieder verwendet werden kann.

Somit können sowohl aus wirtschaftlicher und ökologischer Betrachtungsweise die Produktions- als auch Entsorgungskosten durch Prozesswassereinsparung reduziert werden. Auch eine Rückgewinnung des Feststoffs ist durch eine nachgeschaltete Trenntechnologie möglich.

Ihre Vorteile

Ultrafiltration
Rohrmembranen / Hohlfasermembranen
Hohe Abrasionsbeständigkeit
Modulare Betriebsweise
100% Partikelrückhaltung
Automatische CEB & Desinfektion
Hohe Energieeffizienz

Häufige Fragen

Warum lohnt sich die Aufbereitung von Schleifwasser?

Schleifwasser im Kreislauf zu führen senkt Frischwasserverbrauch und vor allem die Entsorgungskosten der belasteten Abwässer. Gleichzeitig verlängert konstant sauberes Prozesswasser die Standzeit von Werkzeugen und verbessert die Bearbeitungsqualität — etwa in der Halbleiter- und Keramikbearbeitung.

Welches Verfahren eignet sich für Schleifwasser?

Bewährt hat sich die Ultrafiltration, bei abrasiven oder chemisch anspruchsvollen Medien bevorzugt mit keramischen Membranen. Sie hält feinste Schleifpartikel sicher zurück und liefert ein partikelfreies Filtrat für die Kreislaufführung. Die konkrete Auslegung wird im Membranscreening bzw. Pilotversuch bestimmt.

Wie hoch ist die erreichbare Aufkonzentrierung?

Das hängt von Feststofffracht und Medium ab. Ziel ist, den Feststoff so weit aufzukonzentrieren, dass nur ein kleiner Reststrom entsorgt werden muss, während der Großteil des Wassers im Kreislauf bleibt. Typische Wasserrückführungsraten liegen deutlich über 90 %.

Lässt sich die Anlage in eine bestehende Fertigung integrieren?

Ja — die Anlagen werden als kompakte Skids gefertigt und an die vorhandene Maschinenversorgung angebunden. Vor der Auslegung klären wir Volumenströme, Partikelspektrum und Platzverhältnisse; auf Wunsch läuft vorab ein Pilotversuch mit dem Originalmedium.

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