StartLeistungenSchleifwasseraufbereitung
HIGHLIGHT: HALBLEITERTECHNIK / GLAS / KERAMIK

Schleifwasseraufbereitung für Halbleiter und technische Keramik

Partikelbeladenes Prozesswasser – bis zu 90 % im Kreislauf zurückgewinnen.

bis 90 % Rückgewinnung100 % PartikelrückhaltUltrafiltration

Worum es geht

Sowohl in der Halbleiterindustrie bei der Waferherstellung (Si, SiC, LiTaO₃) als auch in der Glas- und Keramikindustrie bei der Bearbeitung komplexer Werkstücke (Al₂O₃, TiO₂) entstehen beim Fräsen, Schleifen, Kanten und Polieren partikelhaltige Prozessabwässer. Diese können mittels unserer Ultrafiltrationsanlagen aufbereitet werden, sodass ein wesentlicher Anteil (Ausbeute bis zu 90 %) des eingesetzten Prozesswassers wieder verwendet werden kann.

Somit können sowohl aus wirtschaftlicher und ökologischer Betrachtungsweise die Produktions- als auch Entsorgungskosten durch Prozesswassereinsparung reduziert werden. Auch eine Rückgewinnung des Feststoffs ist durch eine nachgeschaltete Trenntechnologie möglich.

Ihre Vorteile

Ultrafiltration
Rohrmembranen / Hohlfasermembranen
Hohe Abrasionsbeständigkeit
Modulare Betriebsweise
100% Partikelrückhaltung
Automatische CEB & Desinfektion
Hohe Energieeffizienz

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